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半导体设备

面向晶圆、光刻、封装与检测设备的高稳定精密运动单元。

提供高分辨率、可重复和可集成的精密运动能力,支持复杂设备中的多轴姿态调整与自动化控制。

北京六族科技|六自由度并联平台与精密运动控制