围绕关键工艺与复杂定位需求,协同构建稳定的运动控制系统。
为光学对准、激光准直与复杂光路装调提供多自由度精密调整。
面向晶圆、光刻、封装与检测设备的高稳定精密运动单元。
服务惯性器件测试、载荷标定与复杂姿态模拟。
为实验室、计量和科研装置提供开放、可靠的精密定位基础。
利用可重复的六轴运动完成传感器与惯性器件标定。
在精密装配、测试和工艺装备中提供稳定的运动控制模块。